產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
無(wú)塵室凈化車(chē)間、 凈化工程、凈化工程公司在一定空間范圍內,將空氣中的微粒子、有害空氣、**等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學(xué)科。氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃**等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復以上過(guò)程,即可達到凈化目的,即為凈化車(chē)間。
詳情介紹:

亂流潔凈室
亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來(lái)流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線(xiàn)彼此有很大或者越來(lái)越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì )彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。
所以,概括地說(shuō),亂流潔凈室的作用原理是:當一股干凈氣流從送風(fēng)口送入室內時(shí),迅速向四周擴散、混合,同時(shí)把差不多同樣數量的氣流從回風(fēng)口排走,這股干凈氣流稀釋著(zhù)室內污染的空氣,把原來(lái)含塵濃度很高的室內空氣沖淡了,一直達到平衡。所以氣流擴散得越快,越均勻,稀釋的技果就越好。凈化車(chē)間、 無(wú)塵室凈化車(chē)間、 凈化車(chē)間工程、十萬(wàn)級凈化車(chē)間 凈化車(chē)間 報價(jià) 凈化車(chē)間管理 凈化車(chē)間設計凈化車(chē)間、

所以,概括地說(shuō),亂流潔凈室的作用原理是:當一股干凈氣流從送風(fēng)口送入室內時(shí),迅速向四周擴散、混合,同時(shí)把差不多同樣數量的氣流從回風(fēng)口排走,這股干凈氣流稀釋著(zhù)室內污染的空氣,把原來(lái)含塵濃度很高的室內空氣沖淡了,一直達到平衡。所以氣流擴散得越快,越均勻,稀釋的技果就越好。凈化車(chē)間、 無(wú)塵室凈化車(chē)間、 凈化車(chē)間工程、十萬(wàn)級凈化車(chē)間 凈化車(chē)間 報價(jià) 凈化車(chē)間管理 凈化車(chē)間設計凈化車(chē)間、

控制
潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來(lái)確定,但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下,應考慮到人的舒適度感。隨著(zhù)空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來(lái)越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細,所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。
潔凈室中的氣壓規定
對于平行流潔凈室《習慣上稱(chēng)層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指標。過(guò)去都參考美國20gB標準,采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的,為了節能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。
在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠(chǎng)房設計規范))都是這樣規定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s
研究表明以上規定基本上滿(mǎn)足控制污染的要求,但認為應區別不同情況分出不同的檔別,更能體現節能的目的。
潔凈室中的噪聲控制
潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準,目的在于保障操作正常進(jìn)行,滿(mǎn)足必要的談話(huà)聯(lián)系及**舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是:
1.煩惱的效應
由于噪聲,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級。凡反應水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數在總人數中的百分比即為高煩惱率。
2.對工作效率的影響
這主要看三方面的反應水平,這三個(gè)方面是:集中精神,動(dòng)作準確性,工作速度;
3.對綜合通訊的干擾
這主要分為:清楚或滿(mǎn)意,稍困難,困難,不可能
根據中國建筑科學(xué)研究院建筑物理研究所1981年為編制《潔凈廠(chǎng)房設計規范》而進(jìn)行的測定資料,在65dB(A)以下時(shí),只有30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時(shí),其影響對工作效率的三方面反應表現出較低水平;在60dB(A)以下說(shuō)話(huà)清楚滿(mǎn)意.60~75dB(A)時(shí)有一定困難,犬于75dB很困難。因此認為潔凈室噪聲水平以65d)為宜,此時(shí)可使高煩惱率小于30%;保證一般通話(huà);對工作效率影響很小潔凈室的照度控制
由于潔凈室內的工作內容大都有精細的要求,而且又都是密閉性房屋,所以對照明一向有很高的要求。這里有必要先說(shuō)明一下無(wú)窗潔凈室的照明方式:
(1)一般照明
它指不考慮特殊的局部需要,為照亮整個(gè)被照面積而設置的照明。
(2)局部照明
這是指為增加某一指定地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設置的照明。但在室內照明由一般不單獨使用局部照明。
(3)混合照明
這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《潔凈廠(chǎng)房設計規范》應占總照度的10%—15%,但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。
國外潔凈室的強度要求極高,例如美國關(guān)于潔凈室的幾個(gè)標準的要**.
100級: 1080-16001x
10000級: >lOOOlx
100000級: >1000LX
人工光300lx有較好的效果,當工件精細程度更高時(shí),500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方,如電子行業(yè)的光刻車(chē)間,其照度一般為25—501x),
潔凈室中的防靜電
潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生,因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。
所謂靜電,是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一)電荷等量的均勻的電中性狀態(tài),而使電荷過(guò)剩,物體呈帶電狀態(tài),由于這些電荷平時(shí)是不流動(dòng)的,故稱(chēng)靜電。
1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不**和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);
2.靜電放電引起的放電電流,可導致諸如半導體元件等破壞和誤動(dòng)作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內,搖晃數次后,與非門(mén)柵極嚴重擊穿者計39塊,失效率競達78%,這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏;
3.靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作;
4.靜電放電的發(fā)光可導致照像肢片等感光破壞;
5.靜電的力學(xué)現象可導致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線(xiàn)紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;
6.靜電放電引起的*危險的災害是成為可燃物的火源井引起爆炸,例如國外文獻統計,在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中,爆炸的36次,其中由靜電引起的達21次;
作用
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設計施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。分類(lèi)
亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA) 進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
層流式(Laminar)
等級名稱(chēng)
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等級限值
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0.1μm
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0.2μm
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0.3μm
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0.5μm
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5μm
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容積單位
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容積單位
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容積單位
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容積單位
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容積單位
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國際單位
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英制
單位
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m
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Ft
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m
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Ft
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m
|
Ft
|
m
|
Ft
|
m
|
Ft
|
M1.0
|
|
350
|
9.91
|
75.7
|
2.14
|
30.9
|
0.875
|
10
|
0.283
|
/
|
/
|
M1.5
|
1
|
1240
|
35.0
|
265.0
|
7.5
|
106
|
3
|
35.3
|
1
|
/
|
/
|
M2.0
|
|
3500
|
99.1
|
757
|
21.4
|
309
|
8.75
|
100
|
2.83
|
/
|
/
|
M2.5
|
10
|
12400
|
350.0
|
2650
|
75
|
1060
|
30
|
353
|
10
|
/
|
/
|
M3.0
|
|
35000
|
991.0
|
7570
|
214
|
3090
|
87.5
|
1000
|
28.3
|
/
|
/
|
M3.5
|
100
|
/
|
/
|
26500
|
750
|
10600
|
300
|
3530
|
100
|
/
|
/
|
M4.0
|
|
/
|
/
|
75700
|
2140
|
30900
|
875
|
10000
|
283
|
/
|
/
|
M4.5
|
1000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
35300
|
1000
|
247
|
7
|
M5.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
100000
|
2830
|
618
|
17.5
|
M5.5
|
10000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
353000
|
10000
|
2470
|
70
|
M6.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
1000000
|
28300
|
6180
|
175
|
M6.5
|
100000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
3530000
|
100000
|
24700
|
700
|
M7.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
10000000
|
283000
|
61800
|
1750
|
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)型,空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種:
局部潔凈工程
潔凈工作臺:等級Class 1~100級。
潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較**之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動(dòng)輪,可為彈性運用。無(wú)塵室凈化車(chē)間、 凈化工程、凈化工程公司
空氣潔凈度等級標準及規范
經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規范標準,都規定了有關(guān)的潔凈度等級,例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠(chǎng)房設計規范》(GBJ73-84),1996年該規范進(jìn)行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。目前,該規范在重新修訂中。
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GBJ73-84規定的潔凈度等級
等級
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每立方米(升)空氣中》0.5μm塵粒數
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每立方米(升)空氣中》5μm塵粒數
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100
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《35*100(〈3.5〉
|
|
1000
|
《35*1000(〈35〉
|
《250(〈0.25〉
|
10000
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《35*10000(〈350〉
|
《2500(〈2.5〉
|
100000
|
《35*100000(〈3500〉
|
《25000(〈25〉
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美國聯(lián)邦標準FS209E中的潔凈等級
